净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，无尘洁净室安装，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
进车间操作具体步骤
a．一更换鞋步骤：先打开门进入一更后，立即关上门；坐在鞋柜上，把室外鞋脱下后放入鞋柜内，双脚不要着地，转身换上洁净区专用鞋。如穿有外套和携带有个人物品，应先脱掉外套、取出个人物品放入一更更衣柜。如不需脱外套可直接进入二更。
b．二更换衣步骤：打开门进入后，立即关上门；从衣柜内取出无尘衣、口罩、手套。先戴好口罩，穿上无尘衣，无尘洁净室设计，更衣后头发不得外露，无尘洁净室，口罩应盖住鼻孔。更衣完毕后先用洗涤剂洗尽手上的污物，用清水冲洗干净。需要接触产品的人员要带洁净橡胶手套。
c .进入缓冲间步骤：打开门进入后，立即关上门；把手放入消毒液中浸泡至少40秒钟（只要露出洁净服的手的部位均要浸到消毒液），再用清水冲洗干净后烘干；手消毒完成后，通过洁净走廊进入各自的生产操作区域（如带洁净手套可直接进入）。
洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间，无尘洁净室厂家，其主要部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。洁净工作台有足够的送风量，选择合适的气流流形和可靠的过滤装置，确保所需的空气洁净度等级；有排风装置时，应选用必要的排风处理装置或技术措施，达到不污染室内外环境的排放要求；噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求；操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘；工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调；工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制，至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态；工作台内的过滤器应拆装方便。
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